薄膜沉积设备

MFD800特种材料表面功能化薄膜沉积系统

用 途：用于各种特殊金属表面及轻质合金表面的镀膜处理、类金刚石膜（DLC）以及其它固体润滑薄膜的制备

主要指标：

真空室尺寸：Φ800mm*800mm，

可镀工件最大尺寸：Φ300mm*300mm，

极限真空度：5*10^-5Pa

样品要求：适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积