中国科学院兰州化物所固体润滑实验室
首 页
课题组长
研究队伍
研究方向
组内动态
承担项目
发表论文
成果专利
仪器设备
组内活动
常用链接
联系我们
English
您现在的位置:首页>仪器设备

关键零部件表面薄膜沉积中试系统

日期:2012-08-21 | | 【

薄膜沉积设备

关键零部件表面薄膜沉积中试系统

 途:用于发动机关键零部件及机械密封关键零部件如密封环、轴套等表面强化与润滑薄膜沉积处理

主要指标:

真空室尺寸:Φ800mm*900mm

可镀工件最大尺寸:Φ500mm*500mm

极限真空度:5*10-4Pa

样品要求:适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积

 

vic115维多利亚*办公室 承制 版权所有 陇ICP备05000312号
联系我们 地址:中国 兰州天水中路18号 邮编:730000