薄膜沉积设备

关键零部件表面薄膜沉积中试系统

用 途：用于发动机关键零部件及机械密封关键零部件如密封环、轴套等表面强化与润滑薄膜沉积处理

主要指标：

真空室尺寸：Φ800mm*900mm，

可镀工件最大尺寸：Φ500mm*500mm，

极限真空度：5*10^-4Pa

样品要求：适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积