摩擦磨损性能评价

超薄膜摩擦学性能实验机

用途：对各种薄膜材料进行轻载高速碰撞摩擦试验。应用于材料科学、磁记录和MEMS等方面

主要指标：样品摩擦位移范围和精度5mm，100nm；样品台倾斜角度和最小驱动角度±3°，0.001°；载荷范围10uN－100 uN，1mN－100 mN；加载位移精度10nm；高速（1000～15000RPM）瞬间摩擦的接触信号频率和时频分析范围0～2MHz

样品要求：各种薄膜材料