专利
专利名称: 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法
专利类别: 发明专利
第一发明人: 郝俊英
其他发明人: 郑建云
申 请 号:
专 利 号: ZL201110439964.2
申请日期: 2011-12-23
专利授权日期: 2015-03-18
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号: 1606987
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
未经vic115维多利亚书面特别授权,请勿转载或建立镜像,违者依法必究