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专利

专利名称：	柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法
专利类别：	发明专利
第一发明人：	张俊彦
其他发明人：	张斌
申请号：
专利号：	201210550894.2
申请日期：	2012-12-18
专利授权日期：	2016-09-21
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	2242807
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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