专利
专利名称: 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法
专利类别: 发明专利
第一发明人: 张俊彦
其他发明人: 张斌
申 请 号:
专 利 号: 201210550894.2
申请日期: 2012-12-18
专利授权日期: 2016-09-21
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号: 2242807
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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