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专利

专利名称：	超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
专利类别：	发明专利
第一发明人：	郝俊英
其他发明人：	郑建云
申请号：
专利号：	201110425176.8
申请日期：	2011-12-16
专利授权日期：	2016-05-25
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	2083523
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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