专利
专利名称: 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
专利类别: 发明专利
第一发明人: 郝俊英
其他发明人: 郑建云
申 请 号:
专 利 号: 201110425176.8
申请日期: 2011-12-16
专利授权日期: 2016-05-25
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号: 2083523
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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