专利名称: | 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 |
专利类别: | 发明专利 |
第一发明人: | 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋 |
其他发明人: | 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋 |
申 请 号: | |
专 利 号: | 201310544722.9 |
申请日期: | 2013-11-7 |
专利授权日期: | 2017-04-26 |
国外申请方式: | |
国外申请日期: | |
国外授权日期: | |
专利证书号: | 2466692 |
专利摘要: | |
实施情况: | |
其他备注: |