专利
专利名称: 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法
专利类别: 发明专利
第一发明人: 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋
其他发明人: 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋
申 请 号:
专 利 号: 201310544722.9
申请日期: 2013-11-7
专利授权日期: 2017-04-26
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号: 2466692
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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