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专利

专利名称：	具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置
专利类别：	发明专利
第一发明人：	张斌；张俊彦；高凯雄；强力；王健
其他发明人：
申请号：
专利号：	201510708221.9
申请日期：	2015-10-27
专利授权日期：	2018-06-29
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	2015-64
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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