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专利

专利名称：	一种织构化类金刚石碳基薄膜及其制备方法
专利类别：	发明
第一发明人：	何东青; 尚伦霖; 李文生; 张广安; 成波; 张辛健
其他发明人：
申请号：
专利号：	202010052653.X
申请日期：	20200117
专利授权日期：	20201211
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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