专利
专利名称: 一种织构化类金刚石碳基薄膜及其制备方法
专利类别: 发明
第一发明人: 何东青; 尚伦霖; 李文生; 张广安; 成波; 张辛健
其他发明人:
申 请 号:
专 利 号: 202010052653.X
申请日期: 20200117
专利授权日期: 20201211
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号:
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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